高纯气体纯度标准有哪些,高纯度氧气氩气氢气氮气纯度具体是多少

高纯气体纯度标准有哪些，高纯度氧气、氢气、氮气纯度具体是多少？

高纯气体是指在气体混合物中，将某种气体从中分离出来，使其纯度达到极高的程度。高纯气体广泛应用于电子工业、化学工业、医药工业等领域。高纯气体的纯度标准是根据不同的应用场合而确定的，下面我们来详细了解一下高纯氧气、氢气、氮气的纯度标准。

一、高纯氧气的纯度标准

高纯氧气是一种非常重要的气体，广泛应用于医疗、工业和生物科学等领域。高纯氧气的纯度标准主要分为两类医用氧气和工业氧气。医用氧气的纯度标准要求氧气中的杂质含量极低，其中氮气、二氧化碳、水分和气味物质等杂质的含量都要控制在极低的水平，具体纯度要求如下表所示

| 气体 | 纯度 |

| ---- | ---- |

| 氧气 | ≥99.5% |

| 氮气 | ≤0.5% |

| 二氧化碳 | ≤0.03% |

| 水分 | ≤0.001% |

| 气味物质 | 不得有 |

工业氧气的纯度标准相对较低，除了要求氧气中的杂质含量较低外，还要求氧气中的气体流量和压力达到一定的要求，具体纯度要求如下表所示

| 气体 | 纯度 |

| ---- | ---- |

| 氧气 | ≥99.5% |

| 氮气 | ≤0.5% |

| 二氧化碳 | ≤0.03% |

| 水分 | ≤0.001% |

| 气味物质 | 不得有 |

| 气体流量 | 1-50L/min |

| 气体压力 | 0.4-0.6MPa |

二、高纯氩气的纯度标准

高纯氩气是一种广泛应用于电子工业、化学工业和制造业等领域的气体。高纯氩气的纯度标准主要分为三类电子级制造级氩气和工业级氩气。电子级氩气的纯度要求，具体纯度要求如下表所示

| 气体 | 纯度 |

| ---- | ---- |

| 氩气 | ≥99.999% |

| 氮气 | ≤5ppm |

| 氧气 | ≤2ppm |

| 氢气 | ≤0.5ppm |

| 二氧化碳 | ≤0.1ppm |

| 水分 | ≤0.1ppm |

| 气味物质 | 不得有 |

制造级氩气的纯度要求相对较低，具体纯度要求如下表所示

| 气体 | 纯度 |

| ---- | ---- |

| 氩气 | ≥99.999% |

| 氮气 | ≤5ppm |

| 氧气 | ≤2ppm |

| 氢气 | ≤0.5ppm |

| 二氧化碳 | ≤0.1ppm |

| 水分 | ≤0.1ppm |

| 气味物质 | 不得有 |

工业级氩气的纯度要求相对较低，不能直接用于电子工业和半导体工业，具体纯度要求如下表所示

| 气体 | 纯度 |

| ---- | ---- |

| 氩气 | ≥99.995% |

| 氮气 | ≤10ppm |

| 氧气 | ≤2ppm |

| 氢气 | ≤0.5ppm |

| 二氧化碳 | ≤0.1ppm |

| 水分 | ≤0.1ppm |

| 气味物质 | 不得有 |

三、高纯氢气的纯度标准

高纯氢气是一种在石油化工、电子工业、食品工业、制药工业和氢能源领域广泛应用的气体。高纯氢气的纯度标准主要分为两类电子级氢气和工业级氢气。电子级氢气的纯度要求，具体纯度要求如下表所示

| 气体 | 纯度 |

| ---- | ---- |

| 氢气 | ≥99.999% |

| 氮气 | ≤1ppm |

| 氧气 | ≤0.5ppm |

| 氯气 | ≤0.1ppm |

| 气味物质 | 不得有 |

工业级氢气的纯度要求相对较低，不能直接用于电子工业，具体纯度要求如下表所示

| 气体 | 纯度 |

| ---- | ---- |

| 氢气 | ≥99.9% |

| 氮气 | ≤100ppm |

| 氧气 | ≤10ppm |

| 氯气 | ≤5ppm |

| 气味物质 | 不得有 |

四、高纯氮气的纯度标准

高纯氮气是一种广泛应用于电子工业、化学工业、制造业等领域的气体。高纯氮气的纯度标准主要分为两类电子级氮气和工业级氮气。电子级氮气的纯度要求，具体纯度要求如下表所示

| 气体 | 纯度 |

| ---- | ---- |

| 氮气 | ≥99.999% |

| 氧气 | ≤1ppm |

| 水分 | ≤1ppm |

| 气味物质 | 不得有 |

工业级氮气的纯度要求相对较低，不能直接用于电子工业和半导体工业，具体纯度要求如下表所示

| 气体 | 纯度 |

| ---- | ---- |

| 氮气 | ≥99.9% |

| 氧气 | ≤10ppm |

| 水分 | ≤5ppm |

| 气味物质 | 不得有 |

高纯气体的纯度标准根据不同的应用场合而定，医用氧气和电子级氮气的纯度要求，工业级氧气、氢气和氮气的纯度相对较低。在实际应用中，需要根据具体的工艺要求和质量要求选择合适的高纯气体。